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半導(dǎo)體精密晶圓切割機(jī)8英寸12英寸平臺(tái)互換共用

發(fā)表時(shí)間:2021-08-23 14:23:35   瀏覽量:3958
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晶圓劃片是半導(dǎo)體芯片制造工藝流程中的一道必不可少的工序,在晶圓制造中屬后道工序,跟著晶圓直徑越來(lái)越大,單位面積上集成的電路越來(lái)越多,留給切割的劃切道也越來(lái)越小。一起,跟著減薄工藝技能的發(fā)展以及疊層封裝技能的成熟,芯片厚度越來(lái)越薄,對(duì)晶圓劃片設(shè)備性能的要求也越來(lái)越高,作為IC后封裝出產(chǎn)過(guò)程中要害設(shè)備之一的晶圓切割機(jī),也由150mm、200mm發(fā)展到300mm。


伴隨封裝體尺寸的逐漸變大12英寸劃片機(jī)逐漸成為封裝市場(chǎng)的發(fā)展趨勢(shì),該機(jī)型相對(duì)于6英寸8英寸劃片機(jī)具有多片切割效率高精度高節(jié)約人力成本等。特點(diǎn)并逐漸成為市場(chǎng)主流國(guó)內(nèi)封裝企業(yè)迫切需要價(jià)廉物美的國(guó)產(chǎn)12英寸晶圓劃片機(jī)替代進(jìn)口機(jī)型由深圳博特研發(fā)的12英寸劃片機(jī)進(jìn)一步打破了封裝設(shè)備長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷的局面取得了技術(shù)自主權(quán)和市場(chǎng)主動(dòng)權(quán)提升在裝備領(lǐng)域的技術(shù)能力和影響力也為集成電路裝備的國(guó)產(chǎn)化探索了道路,深圳博特董事長(zhǎng)杜先生介紹說(shuō)在國(guó)家和政府的支持下公司從2020年開(kāi)始投入主要精力研發(fā)8英寸和12英寸通用劃片機(jī),2021年初在蘇州完成工藝驗(yàn)證經(jīng)過(guò)技術(shù)積累在2021年取得重要技術(shù)突破和市場(chǎng)突破實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)簽訂合同金額過(guò)千萬(wàn)元。


優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

 瑞士進(jìn)口滾柱導(dǎo)軌,精度高,耐用性久,穩(wěn)定性高,超高直線度,實(shí)測(cè)0.9μm




 


 采用進(jìn)口研磨級(jí)超高精密滾珠絲杠,定位精度可達(dá)2μm全行程

 自動(dòng)對(duì)焦功能

 具有CSP切割功能

 具有在線刀痕檢測(cè)功能

 NCS非接觸測(cè)高

 BBD刀破損檢測(cè)

 自動(dòng)修磨法蘭功能

 工件形狀識(shí)別功能

 更加友好人機(jī)界面

應(yīng)用領(lǐng)域

應(yīng)用領(lǐng)域:IC、QFN、DFN、led基板、光通訊等行業(yè)

可切材料:硅片、陶瓷、玻璃、氧化鋁、PCB、氧化鋁、鈮酸鋰、石英等

 

專(zhuān)注于精密劃片和切割,以及特殊切割加工等領(lǐng)域。依托于先進(jìn)的研發(fā)技術(shù)及豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn),不斷為客戶提供合理、實(shí)用、高效的產(chǎn)品解決方案。將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片晶粒稱(chēng)之為晶圓劃片。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、GPP/LED氮化鎵等芯片、分立器件、LED封裝、光通訊器件、聲表器件、MEMS等芯片劃切生產(chǎn)中。


NCS、BBD光纖頭、折疊防水罩、絲桿、導(dǎo)軌等

使用環(huán)境要求

1、 請(qǐng)使用大氣壓水汽結(jié)露點(diǎn)-15℃,油殘存不大于0.1ppm,過(guò)濾度0.01μm/99.5%以上的潔凈壓縮空氣;

2、 請(qǐng)將切削水及冷卻水的水溫為室溫±2℃,水溫控制在室溫波動(dòng)范圍±1℃;

3、 避免把設(shè)備放置在有震動(dòng)的工作環(huán)境工作,遠(yuǎn)離鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口、高溫裝置、油污等環(huán)境;

4、 室內(nèi)溫度20-25℃,溫度變化不大于±1℃

5、 工廠具有防水性底板以及具有排水處理。

6、 嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范操作

(本文由博特激光原創(chuàng),轉(zhuǎn)載須注明出處:www.guilin01.cn,珍惜別人的勞動(dòng)成果,就是在尊重自己)

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